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AsH3在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味．与空气混合形成可燃混合气。AsH3微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成化合物。AsH3在室温下稳定，在230-240℃下开始分解。AsH3是一种溶血性毒物，可中毒神经。 用 途：AsH3用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长GaAs、GaAsP以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。 工业上生产的AsH3用于有机合成。

AsH3的化学性质：
与水反应性：在加压下生成水合物，由溶解O2分解成As
燃烧性：在空气中燃烧成蓝白色火焰，生成As2O3
与其他物质的反应：与Cl2反应生成HCl和As（空气中可燃限E.R~0.8~98%）
材料注意事项：有强的还原性，可使用碳素钢、不锈钢、蒙乃尔、黄铜、 特氟纶、KEL-F、氟化橡胶、尼龙等

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